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 300mmウエーハに対応した完全自動の走査型電子顕微鏡(SEM)前処理装置「QUICK COATER SC-3000」をサンユー電子が9月に発売する。AuやPtなどのコーティング膜を非破壊で成膜できるため,300mm対応のSEMと組み合わせれば非破壊観察が可能になる。

 今回の装置は,ウエーハを入れた後の真空排気,成膜,パージをすべて自動的に行う。このため,ユーザーは前処理を行っている間に他の作業を進めることができる。処理にかかる時間は10分程度。今回は300mmウエーハに対応するため,チャンバ形状を改良している。従来は200mmウエーハだけではなく他の試料にも対応できるように円筒型のチャンバを採用していた。しかし,円筒型のまま300mmウエーハが入るように大型化すると排気時間が長くなりすぎる問題が起きる。この問題を防ぐために薄型のチャンバにし,チャンバ内の容積を1/3に削減した。価格は450万円。この製品に関する問い合わせ先はサンユー電子営業,電話番号は03-3363-3551。