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 LSIの露光工程におけるパターンのズレを計測する測定器の概要を,米Schlumberger Ltd.が明らかにした(ニュース・リリース)。製品名は「IVS 135」。同社の従来製品「IVS 130」よりも,Z方向の焦点合わせが高精度かつ高速になっている点が特徴。製造ラインにおいて,ウエーハを抜き出してズレを計測し,ステッパを調節するために用いる。

 シャロー・トレンチ・アイソレーション化学的機械研磨(CMP)で作るW(タングステン)プラグなどがLSIの製造工程に採用されるようになって,パターンのズレが計測しにくくなってきている。これらの構造は,構成する各層の厚さが著しく異なっている。このため,パターンのズレを計測するときの焦点合わせが困難になってきているのである。

 IVS 135は,レーザ方式の焦点合わせシステムを改良することで,焦点合わせの精度と速度を向上している。Schlumberger社の国内法人であるシュルンベルジェは,すでにIVS 135の販売活動を開始している模様である。

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