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 非接触ハンドを採用した300mm対応ウエーハ梱包装置をハーモテックが2000年11月に発売する。非接触ハンドを採用することにより,搬送時のウエーハの割れや欠けを低減できる。

 今回の装置を開発するに当たって,同社は300mm化に伴ってウエーハが面積の割に薄くなる問題の解決に取り組み,非接触ハンドを採用してこの問題を解決した。採用した非接触ハンドは小型である,ウエーハ・カセット内にハンドを挿入できる。搬送しながらウエーハの位置決めを可能にし,スループットを向上している。また,同社は,現状では200mmウエーハ対応装置に比べて1.3倍になっている300mm装置の価格を2001年までに1.2倍に下げることを目指している。今回の装置の価格は1300万円。この装置に関する問い合わせ先はハーモテック営業,電話番号は055-284-4883。