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 岡本工作機械製作所が,300mm対応の全自動ウエーハ裏面研削装置「GNX300」の拡販に力を入れている。300mm以上の大口径ウエーハの半自動のウエーハ裏面研削装置を1994年にすでに開発し,1999年には半導体先端テクノロジーズ(Selete)によるGNX300の評価を完了させている。

 この装置の特徴は,カセットから取り出したウエーハを完全自動で処理できることである。具体的には,搬送,研削,洗浄,乾燥,収納をすべて自動処理する。それぞれの工程を同時並行で処理するようにして,複数ウエーハを同時処理しスループットを向上した。FOUPとオープン・カセットの両方に対応している。