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 米Applied Materials, Inc.(AMAT)は,同社が持つ一連の300mmウエーハ対応製造装置を,台湾Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd.(TSMC)にこの7月から出荷すると発表した。TSMCが「Fab 6」に設置する300mmウエーハ試作ラインに納入する。

 発表(リリース)によれば,納入するのはCVD装置,スパッタ,エッチング装置,CMP(化学的機械研磨)装置,イオン打ち込み装置,およびプロセスの検査と制御のための装置である。TSMCは,二つの300mm量産ライン「Fab 12」「Fab 14」の建設を決めており,この量産ラインのためのプロセスを今回の300mm試作ラインで構築する。今回の装置納入により,量産ラインの受注競争でもAMATが有利な立場に立ったといえる。