PR

 信越半導体は,300mmウエーハの製造ラインの建設に着手したと発表した。投資金額は700億円。2002年後半までに10万枚/月の量産体制を整える。

 同社は,これまで試作ラインを使って300mmウエーハの研究開発と生産を続けてきた。白河工場で単結晶の引き上げとウエーハの加工,磯部工場でエピタキシャル成膜を実施している。この白河工場の試作ラインは1万枚/月の生産能力があり,ここでLSIメーカーからの需要をまかなってきた。

 ところが,ここへ来てLSIメーカーの300mm量産ラインの計画が具体化してきたため,これに対応してウエーハの量産体制を整えることにした。白河工場に30万枚/月の生産に対応できる建屋があるため,この建屋に10万枚/月分の装置を導入する。具体的には,まず2001年初から出荷を開始し,2001年に5万枚/月の量産体制を整える。続いて増強投資を進め,2002年には10万枚/月の規模に拡張する。10万枚/月という規模は適切な生産性を実現するために必要な最小投資単位で,量産規模がこれより小さくなると生産性が大きく劣化する。