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 300mmウエーハに対応するLSI配線評価装置を,米Keithley Instruments,Inc. (ホームページ)が発売した。製品名は「S633」(プレス・リリース)

 Cu配線low-k材料の層間絶縁膜を用いた配線構造に適した機能を備えている点が特徴である。

 S633は,300mmウエーハを測定した場合でも200mmウエーハと同様の時間で電流値,電圧値,容量などを測定できる。また,測定プローブは,Cuの測定端子に測定プローブをあてた場合の負荷を最小限に抑えるように最適化されている。加えて,fFオーダの微小な容量を正確に測定できる。このため,層間絶縁膜にlow-k材料を使った場合にも対応できる。

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