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 300mm量産ラインを構築する上でのボトルネックは「ウエーハ搬送や製造装置の制御ソフトウェアである」。このような指摘が複数の製造装置メーカーから出てきた。

 300mm量産ラインでは,Internatioinal 300 Initiative(I300I)や半導体先端テクノロジーズ(Selete)が中心となって搬送系や製造装置へのウエーハの受け渡しを標準化している。この標準に従ったソフトウェアを使ってウエーハ搬送や製造装置の制御を行う必要がある。先行LSIメーカーが2001年にも稼働させようとしているが,このソフトウェアが開発が間に合わない可能性があるとの指摘が製造装置メーカーから出てきた。製造装置本体の開発が完了しているところでもソフトウェアの開発が間に合わないという。300mm量産ラインの立ち上げは,このソフトウェアをいかに素早く開発できるかにかかっている。なお,日経マイクロデバイス9月号特集に関連記事を掲載予定。