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 米shulumberger社が300mm対応の測長SEMと重ね合わせ測定装置の操作性向上とネットワーク化に力を入れている。ここで発売した測長SEMと重ね合わせ測定装置はいずれも,0.1μm技術に対応するとともに,これらの点を強化している。

 操作性に関しては,従来と同様に両方の装置のソフトの基本設計や画面設計を共通化した上で,これらの装置を新規導入する際の技術者や作業者の習熟を大幅に短縮する工夫を取り入れたとする。将来的には両測定装置間の作業レシピの共有化も視野に入れた設計にしている。ネットワーク化に関しては,製造装置の状態を多数のパラメータで常に監視でき,これをリレーショナル・データベースに補完できるようにした。このデータを利用して,定期メンテナンスの時間削減,測定値と製造装置の状態との相関性の確認などが可能である。データベースへは,イントラネットを使ってアクセスできるようにした。また,データ解析には市販の解析ソフトを使って両測定装置のデータを一括処理し,工場のCIMを通じて露光装置などへフィードバックできるとする。