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 直径300mm(12インチ)のウエーハでは,炉体を使った熱処理時にスリップが発生する問題が顕在化することがわかってきた。日本学術振興会が1994年12月に開いた「結晶加工と評価技術第145委員会第68回研究会」で,東芝などが指摘した。

 これを解決するための手段を,同じ研究会で東芝セラミックスや国際電気,東京エレクトロン東北が示した。これらの結果をまとめると,炉体の方式は枚葉式や少量バッチ式になる方向が見えてくる。