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 300mmウエーハ対応の装置・材料を評価するための試作ラインを国内LSIメーカー10社が共同で建設する。この共同体評価ラインを運営する新会社「半導体先端テクノロジーズ」が,この2月に発足した。

 半導体先端テクノロジーズの社長に就任したNEC専務取締役の佐々木元氏に,今後のLSIの研究開発体制のあり方を聞いた。個々のLSIメーカーだけでは解決が難しい今後増える技術課題を共同で解決し,LSI産業が魅力ある成長産業であり続けることが究極の目標だと言う。