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 米Numerical Technologies, Inc.(ホームページ)は,LSIの位相シフト技術に関する基本特許を取得したと発表した(リリース文)。特許番号はUS5,858,580である。出願は1997年9月17日で,1999年1月12日に成立した。同社によれば,この特許は,「位相シフトのアルゴリズム」,「それを実現したソフトウエア」,「位相シフト用マスク・セット」,および「そのマスクの利用」をカバーするという。

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