米Numerical Technologies社，LSIの位相シフト技術の基本特許を取得と発表

　米Numerical Technologies, Inc.（ホームページ）は，LSIの位相シフト技術に関する基本特許を取得したと発表した（リリース文）。特許番号はUS5,858,580である。出願は1997年9月17日で，1999年1月12日に成立した。同社によれば，この特許は，「位相シフトのアルゴリズム」，「それを実現したソフトウエア」，「位相シフト用マスク・セット」，および「そのマスクの利用」をカバーするという。

関連記事

• 米Motorola社と米Numerical社，0.18μmプロセスで最小加工寸法0.1μmのマイクロプロセサを作製(990201)