PR
図1 沖電気工業の紫外線センサとアンプを集積したICの説明パネル
図1 沖電気工業の紫外線センサとアンプを集積したICの説明パネル
[画像のクリックで拡大表示]

 SOI基板を使って紫外光センサとアンプを集積したICを沖電気工業が展示した(図1)。製品名は「ML8511」。外形寸法が3.7×4.0×0.73mmと小さく,また部品点数を削減できるため,紫外線メータ付きの時計やアクセサリ,子供用の紫外線アラームなど小型の機器への応用に向いている。量産は2007年10月中に開始する。

 紫外光センサには,化合物半導体を使った製品がすでにある。今回,SOI基板を使ってSiベースのダイオードで紫外光センサを形成することによって,アンプのようなSi半導体回路を集積できるようにした。ちなみに同じSiベースでも,バルク基板では可視光も検知してしまうダイオードになってしまうため,可視光を遮断するフィルタを外付けする必要がある。

アンプを集積することによって,ダイオードの出力電流を電圧に変換して出力する回路が内蔵できた。その結果,A-D変換器を直に接続して使用できる使い勝手の良さが生まれた。また,受光感度を機器の組み立て前の工程で調整できるため,受光感度の均一性が化合物半導体のセンサよりも高めることが可能になった。

 ML8511の主な仕様は以下のとおり。受光可能な最大波長は365nm,電源電圧は2.7V~3.6V,消費電力は動作時が300μA,待機時が0.1μA。推奨温度範囲は0~70℃である。

この記事を中国語で読む