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図1 コーデンシのサーモパイル型赤外線アレイ・センサの説明パネル
図1 コーデンシのサーモパイル型赤外線アレイ・センサの説明パネル
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 CMOS技術を使って製造するサーモパイル型の赤外線アレイ・センサをコーデンシが参考出品した(図1)。サーモパイル型とは,熱電対を微小な面積の中に直列に並べて出力電圧を高めた温度センサの方式である。このセンサは,体温を検知して人の有無を検出する赤外線単画素センサと映像を取り込む撮像素子の間を埋めるデバイスである。赤外線で人の位置を検知して風向や風量などを制御するエアコンや,食品の位置を考慮した電子レンジでの加熱制御,自動車の死角の監視などへの応用を想定している。

 赤外線単画素センサーでは,単純な回路構成で赤外線を発する物体の有無を検知できる。しかし,位置や個数,動きまでは特定できない。位置の特定には複数個のセンサーを組み合わせて使う必要がある。また,画素数の高い撮像素子を同じ用途に使用すれば,位置などを特定できる。しかし,画像認識のための大規模な回路が必要になるため応用機器の製造コストが高くなる。今回,コーデンシが試作したデバイスは,両者の利点だけを取った。また,センサを構成する熱電対はSiベースの半導体で作っており,CMOS技術に向けた半導体工場で製造できるための低コスト化しやすい特徴もある。

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