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 ニコンは,300mmウエハー,ハーフピッチ40nmを導入した最新半導体量産ラインに対応する自動マクロ検査装置「AMI-3400」を2007年12月15日から発売する。同検査装置は,波動光学理論を応用した製品。ウエハー全面の断面形状(パターンプロファイル)変動を高速で検出し,その情報を露光装置も含めた主要生産装置にフィードバックすることで,プロセス管理を効率化できる。

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