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 LSIの微細化をけん引してきた「国際半導体技術ロードマップ(ITRS:International Technology Roadmap for Semiconductors)」が,新たな技術進化の方向を打ち出した。設計ルールの縮小だけではなく,材料や構造,レイアウトを変えて性能を高める“等価的スケーリング(Equivalent Scaling)”を含む「More Moore」,CMOSデジタル回路にアナログ素子を融合して人間や環境とのインタフェースを持たせる「More than Moore」。こうした半導体の新たな進化を提起する2007年版ITRSの“見どころ”を,同ロードマップ委員会が紹介する。(NIKKEI MICRODEVICES12月号から