PAMの概要 丸紅情報システムズのデータ。
PAMの概要 丸紅情報システムズのデータ。
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 米Stratosphere Solutions, Inc.は,ルネサス テクノロジがStratosphereのTEG設計技術「StratoPro-STX」を導入したと発表した(ニュース・リリース)。ルネサスは同技術を45nmプロセス世代のバラつき(meanや3σ値など)の抽出に使い,特性歩留まりの向上を図る。

 StratosphereのStratoProシリーズは,同社が「Parametric Active Matrix(PAM)」と呼ぶ技術をベースにしている(国内代理店の丸紅情報システムズの関連ページ)。PAMでは,被測定素子を行列状に並べ,測定回路の共通化を図ることで,既存のTEGに比べてチップ面積の削減できる上に,精度も高いという。

 StratoProシリーズには,ビア測定用とトランジスタ測定用があり,それぞれに「フルレチクル版」と「スクライブ・ライン版」がある。ルネサスが採用したStratoPro-STXは,ビア測定用のスクライブ・ライン版である「StratoPro-XD」の改良版と言う。

 ニュース・リリースには,ルネサスの山口 泰男氏(テクノロジ 技術開発統括部 SOCデバイス開発部 主管技師)のコメントが紹介されている。「われわれは,さまざまな製品や技術の中から,われわれの既存の環境と手法に基づいた要件と最もフィットすることを理由として,StratoPro-STXを選択した。StratoProは,われわれの固有のプロセスを自分達で制御し,ノウハウを蓄積することを可能にすることから,特性歩留りの改善にも効果を期待している」(同氏)。