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図 米Cree, Inc.のSiC基板。奥が4インチ品である。この展示品は「マイクロパイプ・フリーかどうかわからない」(説明員)という。
図 米Cree, Inc.のSiC基板。奥が4インチ品である。この展示品は「マイクロパイプ・フリーかどうかわからない」(説明員)という。
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図 ドイツSiCrystal社の3インチ基板。偏光板を通じて見た様子。
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図 中国TankeBlue Semiconductor社のSiC基板。
図 中国TankeBlue Semiconductor社のSiC基板。
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 SiCに関する世界最大級の国際学会「7th European Conference on Silicon Carbide and Related Materials(ECSCRM)」では,発表だけでなく,小規模ながらも展示会場が併設されている。会場では基板メーカー各社がSiC基板を出展している。

 SiC基板メーカーの大手である米Cree, Inc.は,「マイクロパイプ(中空貫通欠陥)・フリー」を前面に押し出す。既に3インチ品と4インチ品を製品化済みとする。こうした製品の場合,マイクロパイプを除いたらせん転位などの欠陥密度は,「あらゆる品種を平均すると,約5000個/cm2ほど」(説明員)だという。

 Cree社と同様に,ドイツSiCrystal社も「ほぼマイクロパイプ・フリー」(説明員)とする3インチのSiC基板を出展した。実際は,「仕様上,マイクロパイプの密度は多く見積もって3個/cm2以下としている」(同)という。らせん転位などの欠陥密度は「約2万個/cm2」(同)とする。

 こうした欧米メーカーだけでなく,中国のTankeBlue Semiconductor社もSiC基板を展示していた。同社が販売するのは最大3インチの品種である。マイクロパイプの密度は,品種によるものの,少ないもので50個/cm2以下とする。他社品に比べてマイクロパイプはまだ多いようだ。

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