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 小野測器(本社横浜市)は,無負荷・非接触で微小な振動を測れるレーザ干渉変位計「LV-2100」を発売した。1 MHz の高速サンプリングで振動変位を検出。同社製のコーナーキューブ「LV-0801/0802」を使うことにより,最大5mの変位を0.155nmの分解能で計測できる。このため,MEMSや圧電素子などの振動変位の検出も可能だ。

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