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図1 第10世代対応プラズマCVD装置「AKT-90K PECVD」
図1 第10世代対応プラズマCVD装置「AKT-90K PECVD」
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図2 プラズマCVD装置AKT-90K PECVDのプロセス・チャンバ
図2 プラズマCVD装置AKT-90K PECVDのプロセス・チャンバ
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図3 第10世代対応電子ビーム・テスター「AKT-90K EBT」
図3 第10世代対応電子ビーム・テスター「AKT-90K EBT」
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 エーケーティーは,「FPD International 2008」 開催前日の2008年10月28日の新製品説明会において,第10世代対応プラズマCVDと電子ビーム・テスターの概要を発表した。両装置とも,2850mm×3050mmクラスのガラス基板に対応し,従来機種(第8.5世代対応)の拡大で,プロセス性能も従来機種と同等とする。

 新製品説明会の冒頭で,Display Business and Thin Flim Solar Product GroupのSr. Vice President and General Manger, Gilad Almogy氏が,ディスプレイと太陽電池に関するApplied Materials 社のビジネスを紹介した。その後,エーケーティーのDisplay Business Group, Vice President and General ManagerのID Kang氏が,第10世代対応のプラズマCVD装置「AKT-90K PECVD」と電子ビーム・テスター「AKT-90K EBT」を紹介した。
 プラズマCVD装置AKT-90K PECVDは,最大5個のプロセス・チャンバとロード・ロック・チャンバ,およびそれらの中心に位置するトランスファ・チャンバで構成される。設置面積は,約14m×14mである(図1)。

 第8.5世代対応の従来機種と比較すると,対応する基板面積が1.6倍大きくなっており,装置の幅と奥行きはそれぞれ1.3倍大きくなっている。また,高さは,従来機種の1.2倍の4.2mである。一方で,装置の重さは,第8.5世代対応機種の2倍となり,228トンにもなる。

 大型化する装置に対しては,輸送が最大の課題であり,これを解決するために客先で組み立てる方式(MAC: Marge at Customer Site)を取り,そのための部品を最適な場所から供給するグローバルなサプライ・チェーン体制を確立した。特に,台湾などのアジア地域からの部品調達の割合が増加し,2008年のアジア地区からのCVDチャンバの供給は2.4倍以上の増加だったとする。

 CVD装置の心臓部であるプロセス・チャンバは,従来機種のスケールアップで対応したが,従来機種と同等の成膜速度,膜質,均一性を得るためには,電極の機械的な平行度,基板温度の均一性が非常に重要であったとする(図2)。
 
 電子ビーム・テスターAKT-90K EBTも,プラズマCVDと同様,従来機種のスケールアップである。装置の設置面積は,約5.7m×13mであり,重量は従来機種の1.7倍の60トンになる。大面積基板に対する検査時間を確保するため,9本のインライン状の電子ビーム・コラムを搭載している(図3)。

 エーケーティーは,これらの新装置を「FPD International 2008」で紹介する予定。