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 米Silicon Clocks, Inc.は,MEMS振動子を搭載した発振器の周波数温度依存性を1/30に改善できる温度補償技術「CMEMS-ZeroThermal」を発表した。この技術を用いると,水晶発振器に匹敵する周波数温度安定性を実現しながら,発振器の消費電力や回路規模を抑えられるという。Silicon Clocksによると,一般的な水晶発振器の周波数温度特性が±0.25~1ppm/℃であるのに対し,一般的なMEMS発振器は±15~30ppm/℃だった。

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