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 ニコンは2月5日,2008年8月に発表していた液浸ArF露光装置の生産能力の拡大計画の見直しを発表した。2009年末の稼働を予定していた2棟の新製造棟うち,1棟の着工時期を先送りするほか,設備投資額を大幅に減額する。

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