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 半導体研究コンソーシアムの米Semiconductor Research Corp.(SRC)とベルギーの研究機関IMECは,環境負荷の少ない半導体製造技術の研究開発を共同で進めると発表した。SRCなどが設立したCenter for Environmentally Benign Semiconductor Manufacturing(CEBSM)も参加する。

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