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 MEMSでバネなどに使われる薄膜材料について,機械的な特性を計測し評価する疲労試験方法が,電気技術分野の国際標準化機関IEC(International Electrotechnical Commission)の国際標準規格として成立した。この方法は新エネルギー・産業技術総合開発機構(NEDO)が中心に開発したもので,薄膜材料の疲労特性について,正確な評価が可能になるとする。業界全体で「開発や検査,材料のコストなど,ざっくり200億円分を直接削減できる」(NEDO技術開発機構 機械システム技術開発部 部長の岡野克弥氏)と見込む。

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