2009 IITCにおいて，Seleteの小川らはCarl Zeiss SMTと共同で，ヘリウム（He）イオン顕微鏡（HIM）がLow-k 材料の観察評価に有効であることを示す。従来，この分野は走査型電子顕微鏡（SEM）が広く使用されている。SEMは解像度が高い利点があるものの，加工したLow-k材料を観察する際に形状変化が生じてしまうといわれている。加えて，SEMは試料を観察した際の映像において，材料の違いによるコントラストは必ずしも良くない。
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