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　ドイツEvonik Industries AGは，日本でモノシラン（SiH4）ガスの製造に乗り出す。2009年後半に三重県四日市市で製造工場の建設を始め，2011年初頭に稼働を開始する。年間生産能力は1000トンで，全量をガス供給会社の大陽日酸がアジア向けに販売する。

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