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 市場調査会社の米VLSI Research Inc.は,半導体製造装置の顧客満足度調査の2009年度版を発表した(PDF形式の発表資料)。米Intel Corp.や韓国Samsung Electronics Co., Ltd.,米Qualcomm Inc.,米Texas Instruments Inc.,台湾Taiwan Semiconductor Manufacturing Co.(TSMC),台湾Advanced Semiconductor Engineering, Inc.(ASE)といった半導体メーカーが,装置の性能や顧客サポートなど13項目で装置メーカーを評価し,VLSI社がまとめた。満足度ランキングはウエハー処理部門,組み立て部門,試験部門などに分けて発表しており,大手メーカーの総合ランキングでは米Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc.が4年連続で首位だった。日本勢では東京エレクトロン,ニコン,大日本スクリーン製造,アドバンテストが上位10社に入った。

2009年度の半導体製造装置の顧客満足度ランキング
(大手メーカー部門)
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 ウエハー処理装置の大手メーカー部門の首位もVarian社。ウエハー処理装置の中・小メーカー部門では,イオン注入装置やPVD成膜装置を提供している日新電機が首位に立った。2008年度は2007年度の3位から12位まで転落したが,再び浮上した。組み立て装置部門ではディスコが初めて首位を獲得した。自動化テスタ部門では米Verigy Ltd.が首位だった。