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外観検査装置「PI-9500」
外観検査装置「PI-9500」
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マスク検査装置「MI-9500」
マスク検査装置「MI-9500」
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 大日本スクリーン製造は,線幅7.5μmパターンにおいて世界最高速のプリント回路基板(PCB)用外観検査システム「PI-9500」と,マスク検査システムの「MI-9500」を2009年6月から販売する。

 外観検査装置「PI-9500」は,携帯電話機やデジタル家電などの小型化・高機能化の進展を受けて開発したハイエンドモデル。新開発の画像処理ユニットとデジタル補間技術の搭載により,線幅7.5μmの超高精細なPCBを,1時間当たり49面という世界最速で処理する。各種検査条件の自動設定機能により準備時間が短縮できるほか,新たな検査アルゴリズムの採用により,オープンショート欠陥の検出感度の向上を図っている。加えて,検査時に設計/製造上の問題で発生する虚報を抑制する虚報低減機能を新たに加えた。

 また,同時発売のマスク検査システム「MI-9500」は,新開発の画像処理ユニットと線幅7.5μmのPCBに対応するフォトマスクの検査において,世界最高速を実現。新たな検査アルゴリズムにより微細欠陥の検出力を向上させるとともに,オープンショート欠陥を高感度に検出する比較オープンショート検査機能も搭載している。装置には,発じん対策を施し,クリーンルームへの設置にも対応できるようにしてある。

 外観検査装置,マスク検査装置は2009年度それぞれ10台と20台の販売を目標とする。価格は前者が7000万円(税別),後者が8500万円(税別)。

 これらの装置は,2009年6月3~5日まで東京ビッグサイトで開催される第39回国際電子回路産業展「JPCA Show 2009」に展示される。