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半導体プロセス技術の微細化に伴い,アナログ-デジタル混載(ミックスト・シグナル)LSIにおいてクロストーク雑音によるSN劣化やスプリアス発生などが深刻になってきた。CMOSロジックの動作時に生じる過渡的な電流変化と,それがSi基板に伝播して起こる基板クロストーク雑音を如何に解決するかが重要な課題となっている。

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