米Analog Devices, Inc.は,振動や衝撃が存在する環境下でも高い精度で角速度を検出できるMEMSジャイロ・センサーIC「ADXRS64xシリーズ」を3品種発売した。四つのセンサー(クワド・センサー)の出力信号を差動接続することで,振動や衝撃といった同相成分を除去して検出精度を高めた。出力信号はアナログ形式である。3品種は,「ADXRS646」と「ADXRS649」,「ADXRS642」であり,それぞれ角度検出範囲や周波数帯域幅などの特性が異なる。パッケージはいずれも,外形寸法が7mm×7mm×3mmのCSPBGA。消費電流はいずれも3.5mAと小さい。競合他社品は60mA程度で,これに比べると1/10以下を実現したという。激しい振動や衝撃が存在する環境下に置かれる産業機器や自動車,医療機器,軍用機器などに向ける。
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