米Novellus Systems, Inc.は，新しいプラズマCVD装置「VECTOR Excel」を発表した。銅（Cu）を使った配線工程（BEOL）には，Cu拡散防止層の成膜のように前処理や後処理が必要なプロセスがある。今回の装置は，このような前処理/後処理プロセスに対応し，28nm以降で生じる課題を新材料の導入なしで解決できると言う。
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