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 キヤノンマーケティングジャパン(キヤノンMJ)は、米Zygo社製の非接触表面形状測定器「ZeGage」を2011年11月30日に発売する。走査型白色干渉法(SWLI)を採用した表面形状測定機だ。従来製品に比べて耐振動性を大幅に向上しており、これまでは不可欠とされていた防振台が不要だという。

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