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3.5度/時のバイアス安定性を実現したマッチ箱大のMEMSジャイロ・センサー
3.5度/時のバイアス安定性を実現したマッチ箱大のMEMSジャイロ・センサー
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 米Analog Devices, Inc.は,動作時のバイアス安定度を3.5度/時(標準値)と小さく抑えたMEMSジャイロ・センサー「ADIS16136」を発売した(ニュースリリース)。米国政府が定めるジャイロ・センサーの分類では,「タクティクス・グレード(バイアス安定度が10度/時以下)」に属す。しかも,外形寸法は36mm×44mm×14mmと小さく,質量は25gと軽い。同社によると,「マッチ箱大ながらも,体積が10倍以上も大きく高価な光ファイバ・ジャイロ・センサーと同等の性能を実現した」という。プラットフォームの安定化制御や,産業用ナビゲーション装置,ロボット,医療用計測機器などに向ける。

 MEMSセンサーのほか,温度センサーやセルフ・テスト回路,制御回路,較正回路などの機能を収めた。測定データは,SPI準拠のシリアル・インタフェースを介してデジタル信号として出力する。測定範囲(ダイナミック・レンジ)は±450度/秒と広い。周波数帯域は380Hz。最大サンプリング速度は2048サンプル/秒。雑音密度は,0.0036度/秒/√Hz(25Hzにおける標準値)。角度ランダム・ウォークは0.16度/時(標準値)。感度は,7.139×10-5度/秒/LSBで,感度の温度係数は±35ppm/℃である。電源投入時の起動時間は180ms。スリープ・モードからの回復時間は2.5ms。較正回路は,測定データに対して自動的に補正をかけるため,外部からの命令は不要である。

 耐衝撃性は2000gを確保した。+4.75~5.25Vの単一電源で動作する。消費電力は1W未満と小さい。光ファイバ・ジャイロ・センサーと比べると1/5という。動作温度範囲は-40~+85℃。1000個購入時の米国での参考単価は649米ドルである。