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 富士電機は、独自開発のMEMS技術を用いた低周波微振動計測用センサ「感振センサ」の開発品を、「計測展2011 TOKYO」(2011年11月16~18日、東京・ビッグサイト)に展示した。ビルや橋梁などの建築物の振動計測や地震計測などの用途を想定している。現在は一般にサーボ式の加速度計や地震計が使われているが、これをMEMSによるセンサに置き換えることで、コストを1/5に削減できるという。

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