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 東京エレクトロン(TEL)は、2011年10月に竣工した東京エレクトロン宮城の本社工場で製造した半導体製造装置の1号機出荷式を同年11月29日に開催した。出荷式では、東京エレクトロン宮城代表取締役社長の北山博文氏(TEL代表取締役専務執行役員、製造本部長、品質担当)が、「苦難を乗り越えて1号機を出荷でき、感慨深い」と挨拶した。

 同工場は、TELのエッチング事業拡大の切り札として建設された。装置を1カ所に固定して部品を組み付けるセル生産方式に替えて、自動車などのライン生産方式のように装置を移動させながら部品を組み付けていく「フロー生産方式」を採用、TATを半減、生産効率を1.5倍にそれぞれ向上させている。生産能力は7チャンバ/日。

 同工場の建設は、北山氏が述べたように、度重なる苦難に見舞われた。リーマン・ショックにより工場建設を一旦は停止、その後の市況好転に伴って建設を再開してからも、2011年3月に火災事故や東日本大震災が相次いで起きた。しかし、その後は震災からの復旧と工場立ち上げを並行して推進、2011年10月に竣工してから1号機出荷までは「予想以上に早かった」(同氏)と言う。

 1号機はエッチング装置「Tactras」。アジアの半導体メーカー向けであり、最先端のパターン形成用に使われると言う。これまでは軟調だった市況は、年度末に向けてはモバイル関連を中心に「続々と注文が入っており、社員には残業してもらなければならないほど」(同社)と言う。このような状況もあり、同社はエッチング事業を現在の2倍の3000億円に拡大するという中期目標を変更していない。