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 高性能で透明な薄膜トランジスタ(TFT)を、室温下の液相プロセスで作製する――。ガラス基板上の透明集積回路や、高性能な大面積ディスプレイなどの実現につながる技術を、米University of California, Berkeleyのグループが発表した(講演番号14.7)。SnO2チャネルとZrO2ゲート絶縁膜を液体材料に基づいて作製した透明TFTにおいて、100cm2を超える電子移動度を得た。液相プロセスを用いて作製した透明TFTのキャリア移動度としては、これまで報告された中で最高の値だとしている。

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