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 フランスはパリで1月30日から開催中の「第25回IEEE MEMS国際会議(The 25th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems)」では、最初にあったOptical MEMSセッションに続き、RF(無線周波) MEMS、ポスター、Power MEMSの各セッションが続いた。その中から1件、紹介しよう。

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