ニコン、精度2nm以下で200枚/時以上のArF液浸スキャナー

　ニコンは、ArF液浸スキャナー「NSR-S621D」の販売を2012年1月に始めたと、2月1日に発表した。22nmプロセス量産用であり、ダブルパターニングに対応する。既存の「NSR-S620D」よりも精度や生産性を向上させた。