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 ニコンは、ArF液浸スキャナー「NSR-S621D」の販売を2012年1月に始めたと、2月1日に発表した。22nmプロセス量産用であり、ダブルパターニングに対応する。既存の「NSR-S620D」よりも精度や生産性を向上させた。

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