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小さなウエハーと小さな製造装置で、少量のICを低コストで作ることを狙うミニマルファブ。現在、0.5インチ（約12.5mm）のSiウエハーを幅30cmの製造装置群で処理できるようにと、各所で開発が進んでいる。

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