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量産を開始する6インチのSiCエピタキシャル・ウエハー 昭和電工のデータ。
量産を開始する6インチのSiCエピタキシャル・ウエハー 昭和電工のデータ。
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 昭和電工は、6インチのSiCエピタキシャル・ウエハーの量産化技術を確立したと発表した(ニュース・リリース)。同社は同ウエハーのサンプル出荷を2013年の年初から進めてきたが、今回、量産化技術を確立させたことで、製品仕様を設定して2013年10月から製品として販売する。

 発表によれば、6インチ品はデバイスの低コスト化と100A級の大きな電流容量のSiCデバイスの量産に適していて、今回の製品によって、電気自動車やハイブリッド車へのSiCデバイスへの採用が進むものと予想されるという。さらに同社は、4インチ品においても低欠陥化を進めて均一性を向上させた新グレード製品の開発を完了したことを、今回、発表した。この4インチ品も2013年10月から製品として販売する。

 今後、同社は、さらなる品質向上と生産能力増強に取り組む。4インチ品換算での月産能力を、現在の1500枚から2014年前半には2500枚相当まで引き上げて、SiCパワー半導体の普及に寄与するという。