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2.5mm角と小さいMEMS圧力センサーIC
2.5mm角と小さいMEMS圧力センサーIC
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 伊仏合弁STMicroelectronics社は、外形寸法が2.5mm×2.5mm×1mmと小さい10端子HCLGA(cavity holed LGA)パッケージに封止した気圧/圧力センサーIC「LPS25H」を発売した(ニュースリリース)。MEMS技術で製造した。1枚のSi基板に、気圧/圧力を検出するメンブレン(膜)のほか、A-D変換器や外部インターフェース回路などを集積した。製造プロセスは、標準的なCMOS技術という。発売したICを使えば、高度計や気圧計、天気予報などの機能を実現できる。具体的な用途としては、スマートフォンやタブレット端末、携帯型GPS端末、スポーツウォッチなどを挙げている。

 絶対圧力の測定範囲は260hPa~1260hPaである。感度は4096LSB/hPa(標準値)。絶対測定誤差は、周囲温度が+20~60℃の範囲で±0.2hPa(標準値)、0~+80℃の範囲で±1hPa(標準値)。雑音は0.01hPaRMS(標準値)。集積したA-D変換器の分解能は24ビット。出力のデータレートは1Hz~25Hzの範囲でユーザーが選択できる。出力はデジタル形式。SPIインターフェース、もしくはI2Cインターフェースを介して出力する。FIFOメモリーや温度センサーなども集積した。温度センサーの分解能は16ビットで、測定誤差は±2℃(標準値)である。

 最大1万g(gは重力加速度)の衝撃に耐えられる。電源電圧は+1.7~3.6V。消費電流は低分解能モード時に4μA(標準値)、高分解能モード時に25μA(標準値)、パワーダウンモード時に0.5μA(標準値)。動作温度範囲は-30~+105℃。すでに量産を始めている。1000個購入時の米国での参考単価は1.40米ドルである。