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 東レ・ダウコーニングは、口径150mm(6インチ)のSiCウエハー製品を発売した。SiCパワー素子の性能に悪影響を及ぼす「キラー欠陥」の密度に応じて、3つのグレードで販売する。同欠陥の多寡を示す指標として、「マイクロパイプ密度(MPD)」や「貫通らせん転位密度(TSD)」、「基底面転位密度(BPD)」を示す。同社によれば、6インチのSiCウエハーとして、この3種を明確化して提示するのは業界初だという。

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