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time of flight-secondary ion mass spectrometry

 飛行時間型2次イオン質量分析。試料の表面成分を調べる手法である。

 イオンビーム(1次イオン)を試料表面に照射して,試料から飛び出したイオン(2次イオン)を加速器で検出器に導く。検出器までの到達時間がイオンの質量に応じて変わるため,飛行時間から質量を算出することで物質を同定する。