PR
micro electro mechanical system

 Si基板上にμmオーダーの電子・機械構造を3次元的に作り込む技術,および製造した部品の総称。マイクロマシンやマイクロメカトロニクスなどとも呼ばれてきたが,最近はMEMSと呼ぶことが多い。