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digital light processing

 米Texas Instruments Inc.が開発する映像技術。DLP製品の中核となっているのが,一般にDMD(digital micromirror device)と呼んでいる小型の光学部品である。TI社のDMDの構造は,Si基板上に数μm角程度のミラーを多数並べて,光を反射させてスクリーンに映すというもの。この微小なミラーの向きを電気的に制御することにより,光源からの光をスクリーン方向に反射させるかどうかを決める。

 ミラーの制御には,静電引力を利用する。ミラー下部には,ミラーの端を接地させるランディング部や電極があり,電極下部のSi基板にはSRAMが形成されている。このSRAMに「0」または「1」を書き込むことで,ミラーとの静電引力を切り替える。

 ミラーの数は解像度に応じて異なり,SVGAサイズでは48万個,SXGAサイズでは131 万個の微小ミラーを搭載する。ミラーの一つひとつが1画素に相当する。最近では,小型化と多画素化が進んでおり,2005年3月1日に発表した新製品「DLP.55」は0.55インチ型でXGA(1024×768)サイズに対応,画素ピッチは10.8μmである。0.8インチ型を開発した当初の画素数は16×16や128×128程度だった。

 現在の応用先は,リアプロ・テレビ,前面投射型プロジェクタ,デジタル・シネマなど。半導体製造工程における露光装置にも応用できるという。

TI社のDLPの仕組み
図 TI社のDLPの仕組み2005年2月28日号より抜粋)