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 レーザ方式のプリンターにおいて,レーザ・ビームを走査する際に使う小型ミラーのこと。レーザ方式のプリンターでは,感光ドラム上に静電潜像を形成するために,ポリゴン・ミラーを高速に回転して,レーザ・ビームを感光ドラムの幅方向に走査する。この小型ミラーを,半導体プロセスを利用するMEMS技術で開発したもの。次世代のレーザ・プリンター向け小型ミラーとして期待されている。

 現在,ポリゴン・ミラーの価格は5米ドルほどと,プリンターの部品としては決して安くない。MEMSスキャナーは,半導体プロセスという量産効果の高い技術で作成するため,低価格化が期待できる。加えて,これまでの印刷工程をほとんど変えずに従来のポリゴン・ミラーの代替が可能となる。このため,既存のレーザ方式の資産を活用し続けられる利点もある。

 このMEMSスキャナーを搭載したモノクロ・レーザ・プリンターを,米Lexmark International, Inc.が2006年10月に発表した製品に搭載したことで話題となった。


MEMS技術を使ってSiチップ上に小型のミラーを形成したMEMSスキャナー
MEMS技術を使ってSiチップ上に小型のミラーを形成したMEMSスキャナー (日経エレクトロニクス2007年9月10日号より抜粋)