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 評価は,チャンバ容積を25L,装置配管径を1/4インチ,高性能ディフューザとウエハー表面との距離を50mmとし,チャンバ内の圧力を133Pa(1Torr)まで引いた後,窒素ガスを0.1/0.2/0.3/0.4/0.5MPaの各圧力で導入した(真空破壊した)ときのウエハー上のパーティクル数で比較する。少ないほど,パーティクルの舞い上がり防止効果が高い。