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 ルネサス エレクトロニクスは、工場における人工知能(AI)の活用に力を注いでいる。同社は現在、FA機器向け半導体とAIを組み合わせたソリューションの開発を進めており、2016年度下期の提供を目指している。その実証も兼ねて、生産子会社であるルネサス セミコンダクタ マニュファクチュアリングの那珂工場(以下、ルネサス那珂工場)においてAIを試験的に活用しているのだ(図1)。

図1 AIを活用するルネサス那珂工場
図1 AIを活用するルネサス那珂工場
プラズマエッチング工程の良否判定に活用している。
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