自動運転車向けジャイロセンサーや空間認識センサー、音声認識向け高感度マイク、AR（拡張現実）/VR（仮想現実）向け位置検出センサー、スマートフォン向け小型RF（無線周波）モジュール。これらの性能やコストを左右するMEMSの最新技術を東北大学教授の田中秀治氏が解説する。 （本誌）

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