自動運転車向けジャイロセンサーや空間認識センサー、音声認識向け高感度マイク、AR(拡張現実)/VR(仮想現実)向け位置検出センサー、スマートフォン向け小型RF(無線周波)モジュール。これらの性能やコストを左右するMEMSの最新技術を東北大学教授の田中秀治氏が解説する。 (本誌)

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