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 三重富士通セミコンダクター(本社横浜市)は、三重工場(三重県桑名市)のクリーンルームに高砂熱学工業の旋回流誘引型成層空調システム「SWIT」(Swirling Induction Type HVAC system)を採用した。同システムにより、従来の空調方式に比べて消費エネルギーを低減できるという。三重富士通セミコンダクターは、このクリーンルーム内に40nmプロセス製造ラインを構築。2016年度に量産を開始する予定だ。

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